SIMCO-ION AeroBar 5635 MP离子棒

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供静电消散，低残余电压摆幅，和的离子平 衡，是设计用于有严格要求的半导体和高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635 MP 离子 棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合高洁净的静电针和精确的参数调整，使它能达到 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。 选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到快的消散时间和有 远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能*设置和微调参数-输出电压，脉冲频率，正负平 衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出浓密和平均的离子覆盖。

特点
• ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 洁净度
• 调制脉冲技术
• **的横向均匀度
• 低电场电压
• 吹气辅助功能
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性
• 警报输出信号

优点
• 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术
• 的正负平衡，高离子输出量，和长期稳定
• 整根棒的离子平衡都一致
• 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至 15 cm
• 在的自动设备，能增强消除静电的能力
• 在任何环境都能设定和*调至较佳效能
• 能输出至设备或远端监控系统

深圳市荣盛源科技有限公司 ( VSY-Technology Co.,Ltd )，成立于2009年。我们一直专注于电子/工业领域的静电控制设备、静电在线监控与防护系统、IML模内静电贴标、静电驻极设备及除尘洁净设备的应用设计、研制和销售一体的专业供应商。
二十年来紧跟现代工业生产的步伐并不断学习钻研和累积，非常了解现代各工业领域生产环节上所碰到的相关问题。在 "IML" （模内贴标）、膜材包装、电子组装、静电驻极等方面具有特的非标设计和解决方案！我们将秉承专业、务实、负责的经营理念为客户提供优质的服务和解决方案！
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电子应用：静电控制设备、无尘室洁净设备、除静电表面清洁机、净化环境工程解决方案；
工业应用：静电控制设备、薄膜/片材表面洁净、印染涂布、纸品印刷除尘洁净系统、覆膜贴合、无纺布静电应用配套设计；
包装应用： IML模内静电自动贴标、食品包装非标静电发射器的设计与解决方案；
接地检测：人员与设备的静电在线检测和监控；
防静电耗材：导电材料、导电毛刷、防静电袋、屏蔽袋。